Im Bereich Dünnschichttechnik werden physikalische Vakuumbeschichtungen für Anwendungen in Mikroelektronik und Optik untersucht. Anwendungen finden diese zum Beispiel als Kontakt- und Isolatorschichten, optische Vergütung oder Funktionsschichten in der Sensorik.

Für die Analyse von Plasmaquellen entwickeln wir geeignete Sensorik und bieten sowohl Messungen als auch Sensorik an.

Eine präzise und detaillierte Analysen mit hochentwickelten Messverfahren ermöglicht uns eine breite Palette von Parametern zu erfassen, um ein tiefgreifendes Verständnis der Materialcharakteristika zu erlangen. Die gewonnenen Daten sind grundlegend für die Entwicklung und Optimierung neuer Materialien und Technologien.

Unsere technische Ausstattung ermöglicht:

• Magnetronsputtern (Leybold Z400, Prevac PRIMS 032)
• Thermisches Verdampfen
• Charakterisierung von Sputter- und Plasmaquellen (MFPS; EQP Hiden Analytical)
• optische, elektrische, topographische Schichtcharakterisierung
• Analyse von Schicht- und Materialzusammensetzung sowie Struktur
• optische Simulationsrechnungen für
• Materialcharakterisierung
• Analyse von Schichtstapeln
• Comsol Multiphysis Simulationen in den Bereichen Elektrik, Thermik, Mechanik, Wellen und Strahlenoptik