Prozesscharakterisierung

Zur Charakterisierung von Plasma-, Abscheide- und Ätzprozessen stehen uns der eigens entwickelte kompakte Multifunktionssensor sowie das energieselektive Massenspektrometer EQP der Firma Hiden Anylatical zur Verfügung. Für beide Systeme bieten wir Messdienstleistungen an.

Den kompakten Multifunktionssensor, welcher folgende drei Messprinzipien an einem Messort vereinigt, bietet der OUT e.V. an.

Messung des totalen<br>Energieeintrags:

Messung des totalen
Energieeintrags:

  • Kalorimetrie nach Gardon
  • Rückseitige Strahlungsmessung der Aufheizung der Sensorfläche
  • Externe Kalibrierung des absoluten Energieeinstroms Etot mit Energie-(Strahlungs-)quelle oder interne Kalibrierung des absoluten Energieeinstroms mittels des Prozessplasmas
  • Energieflussbereich: ca. 5 mW/cm2 bis 800 mW/cm2
  • Potential an der Frontelektrode im Bereich -100 V bis +50 V frei wählbar (einstellbarer Ionen- bzw. Elektronenstrom)
Messung der Massenbelegung:

Messung der Massenbelegung:

  • mittels Frequenzänderung eines Schwingquarzes
  • Bestimmung von Abscheiderate R und momentaner Schichtdicke d
  • Geeignet für Schichtabscheidung und Schichtätzen
  • Verwendung kommerzieller Standardschwingquarze (ø 14 mm, f0 = 6 MHz)
Messung mit planarer<br>Langmuir-Sonde:

Messung mit planarer
Langmuir-Sonde:

  • Messung der Strom-Spannungs-Charakteristik an der Frontelektrode des Schwingquarzes (Spannungsbereich -100 V bis +50 V, max. Stromstärke 100 mA)
  • Bestimmung der Plasmaparameter Floating- Ufloat und Plasmapotential UPlasma, Elektronentemperatur Te sowie Elektronen- ne und Ionendichte ni mittels LabView basierte Auswertesoftware
  • Die Kombination mit der Rate R ermöglicht die Bestimmung des Energieeintrages pro schichtbildendem Teilchen Pein / Jneutral und des Ionen- zu Neutralteilchenverhältnis jIon / jneutral
  • Strommessung bei festem Potential
Messungen mit dem<br>Massenspektrometer EQP

Messungen mit dem
Massenspektrometer EQP

  • variabler Kammeraufbau zum Vermessen bereitgestellter Quellen
  • Masse 2 - 510 amu
  • Energie bis 1000 eV
  • Detektion von positiven und negativen Ionen möglich