Spektrophotometrische Messung:
- von Transmission, absoluter Reflexion und Absorption mit:
- UV-VIS-2-Strahlspektrometer Varian Cary 5E: 200 nm – 3200 nm
- Vakuum-FTIR-Spektrometer Bruker Vertex 70V:
8000 cm-1- 8 cm-1, max. Auflösung 0,16 cm-1
- von diffuser Transmission und Reflexion mit:
- UV-VIS-2-Strahlspektrometer Varian Cary 5E: 350 nm – 2500 nm
- Vakuum-FTIR-Spektrometer Bruker Vertex 70V:
7000 cm-1- 450 cm-1, 1,4 - 22,2 µm, max. Auflösung 0,16 cm-1
- Bestimmung der optischen Konstanten n(λ), k(λ) aus T(λ), R(λ)
- Probengeometrie 10 mm x 10 mm – 30 mm x 30 mm (bei Messungen im Randbereich auch größere Abmessungen möglich)
- Für flüssige Proben ist eine Küvettenhalterung vorhanden
- ATR (Diamant), λ < 19 µm = WZ > 525 cm-1
Sentech SE850
Ellipsometrische Messung:
- Wellenlängenbereich 0,28 µm - 2,4 µm
- Mehrwinkelmessungen in 5° Schritten von 40° - 90°
- Bestimmung optischer Konstanten n(λ), k(λ) aus ∆(λ), Ψ(λ)
- Dickenbestimmung transparenter Schichten einzelner Nanometer
