Messungen von Rasterkraftmikroskop Park Systems NX7:

• Non-contact mode / Contact mode / Tapping mode
• Phase imaging
• Lateral Force Microscopy
• Force/distance spectroscopy
• PinPoint mode sowie PinPoint Nanomechanical Mapping
• Fast Imaging möglich
• max. XY scan range: 50 μm x 50 μm (Stitching für größere Bereiche möglich)
• max. Z scan range: 15 μm
• max. Tischverfahrweg: 13 mm x 13 mm
• max. Bidlgröße 4096 x 4096 Pixel

Messungen von Oberflächenprofilen mit BRUKER Dektak XT:

Oberflächenprofilbestimmung und Schichtdickenmessung mit Stylusprofilometer durch Stufenhöhenmessung 10 nm ≤ 1 mm

• max. lat. Verfahrweg 55 mm (mit Stitching 200 mm)
• Aufsetzkraft Stylus 0,03 mg – 15 mg
• 3D-Oberflächenprofile
• Rauhigkeitsanalyse
• Durchbiegungsmessung, 2D Stressanalyse