Messtechnik

Optische, elektrische und mechanische Eigenschaften fester Stoffe mit ebenen Flächen werden mit unterschiedlichen Verfahren untersucht. Für die Auswertung der Messergebnisse nutzen wir SCOUT, Igor Pro, SpectraRay, Diffrac.EVA und OPUS.

Messung optischer Eigenschaften

Spektrophotometrische Messung:
  • von Transmission, absoluter Reflexion und Absorption mit:
    • UV-VIS-2-Strahlspektrometer Varian Cary 5E: 200 nm – 3200 nm
    • Vakuum-FTIR-Spektrometer Bruker Vertex 70V:
      8000 cm-1- 8 cm-1, max. Auflösung 0,16 cm-1
  • Bestimmung der optischen Konstanten n(λ), k(λ) aus T(λ), R(λ)
  • Probengeometrie 10 mm x 10 mm – 30 mm x 30 mm (bei Messungen im Randbereich auch größere Abmessungen möglich)
  • Für flüssige Proben ist eine Küvettenhalterung vorhanden
  • ATR (Diamant), λ < 19 µm = WZ > 525 cm-1

Varian Cary 5E

Bruker Vertex 70v
Ellipsometrische Messung:
  • Wellenlängenbereich 0,28 µm - 2,4 µm

  • Mehrwinkelmessungen in 5° Schritten von 40° - 90°

  • Bestimmung optischer Konstanten n(λ), k(λ) aus ∆(λ), Ψ(λ)

  • Dickenbestimmung transparenter Schichten einzelner Nanometer



Sentech SE850