Messung mechanischer Eigenschaften:

Messungen von Oberflächenprofilen mit BRUKER Dektak XT:

Oberflächenprofilbestimmung und Schichtdickenmessung mit Stylusprofilometer durch Stufenhöhenmessung 10 nm ≤ 1 mm
  • max. lat. Verfahrweg 55 mm (mit Stitching 200 mm)
  • Aufsetzkraft Stylus 0,03 mg – 15 mg
  • 3D-Oberflächenprofile
  • Rauhigkeitsanalyse
  • Durchbiegungsmessung, 2D Stressanalyse


BRUKER Dektak XT
Dynamische Mikrohärtemessungen mit SHIMADZU DUH-200:

  • Indenterform: dreiseitige Pyramide (Spitzenwinkel 115°)
  • Prüfkraft 0,098 mN - 1960 mN
  • Eindrucktiefe messbar in 0,01 µm Schritten bis max. 10 µm
  • min. Schichtdicke 1 µm

SHIMADZU DUH-200
Haftfestigkeitsmessung mit SHIMADZU SST-101:

  • an dicken Schichten im µm-Bereich (Abzug und Abriss)
  • an dünnen Schichten im 0,01 µm - 0,1 µm-Bereich (Kratzen)



SHIMADZU SST-101
           
Haftfestigkeitsmessung von Platin
bzw. Platin mit Haftvermittler
Chrom auf Glas
Haftfestigkeitskratztest mit Dektak
3 dimensional vermessen
(TiOx:Nb auf Glas)