U/I-Kennlinienmessung im Bereich 1 µV - 100 V, 1 pA - 100 mA mittels
4-Spitzen zur Bestimmung von Flächen- und spezifischen Kontaktwiderständen
auch an mikrostrukturierten Kontakten in linearer und van-der-Pauw-Geometrie
CV-Messungen im Bereich von fF bis nF
EP6 von Süss MicroTec
4 frei bewegliche Kontakte zur Vermessung beliebiger Strukturen
