Prozesscharakterisierung
Zur Charakterisierung von Plasma-, Abscheide- und Ätzprozessen bietet der OUT e.V. einen kompakten Multifunktionssensor sowie Messdienstleistungen an.
Dieser Sensor vereinigt drei Messprinzipien an einem Messort und bestimmt den totalen Energieeintrag, die Schichtrate und Plasmaparameter.
- Messung des totalen Energieeintrags:
- Kalorimetrie nach Gardon
- rückseitige Strahlungsmessung der Aufheizung der Sensorfläche
- externe Kalibrierung des absoluten Energieeinstroms Etot mit Energie-(Strahlungs-)quelle oder interne Kalibrierung des absoluten Energieeinstroms mittels des Prozessplasmas
- Energieflussbereich: ca. 1 mW/cm2 bis 1 W/cm2
- Potential an der Frontelektrode im Bereich -100 V bis +50 V frei wählbar (einstellbarer Ionen- bzw. Elektronenstrom)
|

|
- Messung der Massenbelegung:
- mittels Frequenzänderung eines Schwingquarzes
- Bestimmung von Abscheiderate R und momentaner Schichtdicke d
- geeignet für Schichtabscheidung und Schichtätzen
- Verwendung kommerzieller Standardschwingquarze (ø 14 mm, f0 = 6 MHz)
|

|
- Messung mit planarer Langmuir-Sonden:
- Messung der Strom-Spannungs-Charakteristik an der Frontelektrode des Schwingquarzes (Spannungsbereich -100 V bis +50 V, max. Stromstärke 100 mA)
- Bestimmung der Plasmaparameter Floating- Ufloat und Plasmapotential UPlasma, Elektronentemperatur Te sowie Elektronen- ne und Ionendichte ni mittels LabView basierte Auswertesoftware
- die Kombination mit der Rate R ermöglicht die Bestimmung des Energieeintrages pro schichtbildendem Teilchen Pein / Jneutral und des Ionen- zu Neutralteilchenverhältnis jIon / jneutral
- Strommessung bei festem Potential
|

|