- Anlage Leybold Z400
- DC- und 13,56 MHz-Anregung möglich
- Reaktives Abscheiden mit Sauerstoff und Stickstoff möglich
- 3 x 75 mm-Targets über Probe schwenkbar
- in situ-Reinigung der Probe mittels Diodenplasma möglich
- maximale Substratgröße 3" Durchmesser
- max. schleusbare Substratdicke ca. 8 mm
- verfügbare Targetmaterialien:
Metalle: Al, Ag, Au, Au:Ge, Au:Be, C, Co, Cr, Cr:Ni (50 wt%), Cu, Fe, Ge, In,
In:Sn (10 wt%), Mn, Mg, Mo, MoSi2, Nb, Ni, Ni:Cr (20 at%), Ni:V, Pb, Pd, Pt, Ru,
Sn:Sb (6 wt%), Sn:Sb (12 wt%), Ti, Ti:Nb (6 wt%), Ti:Ta (10 wt%), Ti:V (3 wt%),
Si, Sn, Ti:Zr (6 wt%), TiSi2, W, W:Ti, Zn, Zn:Al (2 wt%), Zr:Y
Oxide: Al2O3, In2O3:ZrO2, In2O3:Mo, ITO (90/10 at%), ZnO, SiO2, SnO2, SnOx:Ta,
TiO2, TiO2:Nb (2 at%), ZnO, ZrO2
Nitride: AlN, BN, Si3N4
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Leybold Z400
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