Blitzlampenausheilen (FLA):

Mittels FLA ist es möglich, Wärmeenergie in extrem kurzen Pulszeiten (µs bis ms) in Festkörpersysteme einzubringen.
In Abhängigkeit von der Zeitdauer und der Energiedichte des Pulses kann der Wärmeenergieeintrag gezielt gesteuert werden.

Technische Daten:

  • Anlage DTF - FLA100
  • Bestrahlungsfläche 100 mm (4“)
  • Energiedichten (0,1 - 22) J/cm²
  • Impulslänge: (0,4 - 3) ms
  • Xe-Blitzlampen Spektrum: UV-VIS-NIR

DTF FLA100
Anwendungen:
  • Realisierung von flachen Dotierungsprofilen
  • Temperprozess für temperaturempfindliche Bauteile und Substrate

Vakuumkammer und
Lampengehäuse der FLA 100